Erstmals 50 nm Linien und Zwischenräume, gedruckt "EUV inband" with AIXUV's resist exposer mittels Gebrauch einer "Kontakt" Maske. (Bildgenehmigung INFINEON AG, Erlangen)
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Assets of AIXUV wurden von der Bruker ASC GmbH übernommen
(Link zur Pressenotiz).
Die Aktivitäten von AIXUV wurden vollständig in Bruker ASC integriert.
In Kombination mit der umfangreichen Erfahrung von Bruker ASC bei Systemlösungen
an und für Synchrotronstrahlungsquellen werden die Produktlinien und Konzepte von
AIXUV nicht nur fortgeführt, sondern zusätzlich gestärkt und in andere
Spektralbereiche (XUV, weiche Röntgenstrahlung) und Märkte (Analytik, Mikroskopie,
Biotechnologie) erweitert.
Weitere Information siehe Bruker ASC's XUV Seite oder schauen Sie
hier.
Email: Dr. Rainer Lebert
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